研究設備
小田研究室実験及び計測装置一覧 

小田研究室の研究は膜の作製から、その応用まで多岐に渡っています。
そのため使用する装置の数は、かなりの数になります。
共用の装置も多いですが、研究室所有の設備も非常に整っています。
ここでは小田研で管理している実験及び計測装置を
それらが置かれている部屋ごとに紹介します。

南9号館8階学生室

南9号館実験室
ナノクリスタルシリコン堆積装置
窒化チャンバー
MOCVD装置
CVD装置
EB蒸着機
電流電圧測定装置
ヘリウムリークディテクター 
AFM
 
超高速エレクトロニクス研究棟
ECR-RIE
エリプソメーター
プラズマクリーナー

半導体実験室(学生実験室)
抵抗加熱式真空蒸着機
スパッタ装置
4探針プローバー
電気炉

南3号館地下測定室
走査型電子顕微鏡
電子放出測定装置

極低温測定室
低温物性測定装置
超音波ボンディング装置
LCRメータ


<ここに列挙したもののいくつかは、共用使用可能です。希望者は小田研まで>