3号館地下測定評価室


走査型電子顕微鏡

日立製S-5000。最高倍率100万倍の高性能SEM。きれいな写真撮影が可能です。オプションのEDXを使うこともできます。
電子線放出測定装置

ターボ分子ポンプを用いて高真空状態で、基板からの放出電流の測定を行っています。