半導体実験室


南5号館地下には半導体実験室があります。
学生実験にも使われるので学生実験室とも呼ばれます。
ここでは主に基板の切り出し洗浄や配線等を行っています。

抵抗加熱式真空蒸着器

手軽にAlやAuを蒸着することが出来ます。
スパッタ装置

配線用にスパッタ装置も使用しています。現在用意されているターゲットはAlです。
4端子プローバー

普通の室温プローバーです。シンプルな装置なので抵抗率の測定などが手軽に行えます。
電気炉

1200度まで上げることができます。使用目的に応じてチュブ交換できます。
ただし気体の混合装置がないためウェット酸化はできません